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【来自老学长的求助贴】求一本记载过物理气相沉积法的教科书

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各位学弟学妹们好,我先自我介绍一下,我是2010届中南大学化学化工学院的本科毕业生,厦门大学知识产权研究院的硕士毕业生,我目前是一个专利律师。
目前手上的一个专利案件涉及到物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)技术,我需要找到一本教科书来证明:这个技术是比较常见、一般人能够在学校里面学到的公开知识。
因为我已经毕业多年,所以各位学弟学妹们,尤其是化工、粉末冶金、物理化学、材料这几个方面的学弟学妹们,球球你们看看你们手上的教科书,有没有提到这个技术的。如果有,只需要给我截图(或照片),并且告诉我书名就可以了,我自己能弄到书。
十分感谢!!!


IP属地:广东1楼2022-02-22 17:45回复
    给老哥提供个思路,淘宝试试。


    IP属地:四川来自Android客户端3楼2022-02-22 18:59
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      IP属地:湖南来自Android客户端4楼2022-02-22 19:00
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        bd,好像只学过化学气相沉积


        IP属地:湖南来自Android客户端5楼2022-02-22 21:18
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          IP属地:湖南来自Android客户端6楼2022-02-22 21:21
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            微电子工艺原理里边好像有物理气相淀积


            IP属地:广东来自Android客户端7楼2022-02-22 23:38
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              谢谢各位,继续广泛征集灵感


              IP属地:广东8楼2022-02-23 13:53
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                计算机院路过


                IP属地:重庆来自Android客户端9楼2022-02-23 15:36
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