SEM出现雪花是由于电子束击中样品表面引起的电容效应，即，样品分布有一定厚度的氧化层，此时电子束击中样品导致内部电容充满电量，当内部电量达到一定程度后，会突然放出，就会发生电火花和电弧的现象，从而使样品表面被破坏掉，这时产生的就是雪花。拓展来说，如果要避免这种情况发生，可以借助真空系统将电子束的加速浓度降低，或者用隔离技术减小氧化层的电容量，从而避免击穿和雪花的发生。