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关于光源,国内都搞第二代了?(写太明白就发不出来!)
只看楼主
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beinaa
SW421
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鱼编辑
方舟一号
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功率不够吧
youngs
方舟一号
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我记得当时功率只有50w。 离商用差距还挺大的
guangyinguoke
KX-5000
6
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长光官方14年宣布取得重大进展,那个时候光源已经搞出来了,号称是更加节能的新一代euv。17年官方宣布遇到重大困难,据传是因功率太小无法影响光刻胶。
17年时上海光机所曾经想自己开搞,被长光告到中科院总部,由总部出面阻拦。
19年长光宣布项目失败,项目研发人员已经离开。19年底由上海市政府出面组织上海光机所和神光二团队联合成立eUV项目研发组
热情的qwqwer
方舟一号
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上海那个咨询公司请去拉家常可能跟光刻有关吧
牛仔第五顺位
方舟一号
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告诉我多久能出来就完事了
那年的石头是我
方舟一号
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不利于润的不要发
a穿a梭a时a空a
方舟一号
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功率问题解决办法就是双激光轰击法,原理就是当液态锡珠在下落时先由一束功率较低的激光轰击锡珠使其由球状变行为饼状,之后再由全功率激光轰击这个饼状液态锡可以大幅度提高功率。难度是精度要求,要求第一束激光轰击成饼状液态锡时液滴正好处于反射室焦点上,此时全功率轰击饼状液态锡才能完美反射全部的极紫外光,其中的时间差极短。
灯上都在滴油
FT2000/4
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原来是LPP第二代光源的突破啊,那应该已经达到了100w,要不然也不会那么轰动的去视察。
竹林听雨
方舟一号
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路费PNP
3A4000
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把芯片造出来再说,空话谈理论没意义
御坂10045
方舟一号
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什么时候出产品了再说嘛
我家有果sd
方舟一号
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光源有两家单位在搞 一个是长春 另一个在四川
Phenix828
KX-5000
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2017年那台能达到22nm曝光精度的DPP-EUV原理试验装置的报道在中科院官网上就有,第六自然段有参研单位名单:
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