使用parylene（派瑞林）纳米涂层工艺作为钝化层和介质层，使定子和转子其可达到防潮、防水、防尘、耐酸碱、耐高电压的绝缘效果，能够达到IP等级的相关要求，可以给产品提供安全、稳定的防护，是目前为止较好的防水防潮处理方式。
Parylene能在0.2um厚时就完全没有针孔
当用其制备的薄膜厚度达到5um时，就能耐1000V以上直流击穿电压
另外，Parylene又是摩擦系数很低的一种自润滑材料
其化学惰性和阻隔性能也好
因此Parylene在微电子机械系统中，除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。